2 Fabricantes de Medidores combinados de vacío/presión en 2024

¿Qué es un Medidor Combinado de Vacío/Presión

Un manómetro de vacío es un dispositivo de medición de presión que se utiliza para cuantificar la presión por debajo del nivel atmosférico, es decir, la presión negativa.

Existen tres tipos de manómetros: manómetros, medidores combinados de vacío/presión y vacuómetros. Estos instrumentos difieren en el rango de presiones que pueden medir: los manómetros sólo pueden medir la presión positiva, los manómetros compuestos pueden medir un rango limitado de presiones positivas y negativas, y los vacuómetros sólo pueden medir la presión negativa.

Por lo tanto, hay que tener cuidado de no utilizar los vacuómetros para medir otra cosa que no sea presión negativa, ya que esto puede provocar fallos de funcionamiento.

Usos de los Medidores Combinados de Vacío/Presión

Los medidores combinados de vacío/presión se utilizan en espacios de grabado por plasma en equipos de fabricación de semiconductores, metalurgia, síntesis orgánica y otras instalaciones experimentales. Otras aplicaciones incluyen equipos de haces de iones, equipos de evaporación e instalaciones de procesamiento en las que se requiere limpieza de superficies.

En tareas donde se requiere purgar el aire de las tuberías y generar un vacío antes de llenarlas con gas, se emplean medidores combinados de vacío/presión para evaluar la intensidad del vacío. Un ejemplo común es la instalación de un sistema de aire acondicionado.

En el proceso de carga inicial de gas refrigerante en las tuberías de aire acondicionado, el uso de medidores combinados de vacío/presión asegura que se alcance el nivel de vacío adecuado antes de introducir el refrigerante.

Principio de los Medidores Combinados de Vacío/Presión

Existen tres métodos principales para medir la presión de vacío: fenómenos mecánicos, fenómenos de transporte de gas y fenómenos de ionización de gas.

1. Fenómenos Mecánicos

Las mediciones que utilizan fenómenos mecánicos pueden realizarse con manómetros de tubo en U, vacuómetros McLeod, vacuómetros de membrana, vacuómetros de tubo de Bourdon y vacuómetros de peso muerto.

Manómetros de tubo en U
Se trata de un manómetro diferencial en el que un extremo de un tubo en U de vidrio se evacua y se sella al vacío. Es capaz de leer la diferencia de presión de los gases a partir de la altura de la columna de líquido producida por la diferencia de presión y no depende del tipo de gas. Por lo tanto, puede medir valores absolutos de presión.

Manómetro de vacío McLeod
Los manómetros de columna de líquido de mercurio se utilizan para medir la presión de altos vacíos. Está equipado con un mecanismo que comprime el gas para expandir la presión, lo que permite medir la presión absoluta.

Vacuómetro de membrana
Sistema que lee mecánica, óptica o eléctricamente la cantidad de deformación causada por la presión en un diafragma.

2. Fenómenos de Transporte de Gases

Los vacuómetros de conductividad térmica son manómetros de vacío que utilizan el fenómeno de transporte de gases. Aprovecha la propiedad de que la conductividad térmica de los gases varía con la presión.

Existen muchos tipos de vacuómetros de conducción térmica, incluidos los vacuómetros Pirani, los vacuómetros termistores y los vacuómetros termopares. Es importante señalar que los vacuómetros de conductividad térmica se ven más afectados por la radiación térmica que por la conductividad térmica a alto vacío. Por lo tanto, los vacuómetros de conducción térmica tienen la desventaja de que no pueden utilizarse para medir el alto vacío.

Los vacuómetros Pirani son instrumentos de medida que detectan cambios en la resistencia eléctrica. Se hace pasar una corriente a través de un fino hilo de resistencia de platino y el cambio en la resistencia del platino debido al calor perdido por las colisiones de las moléculas de gas se detecta mediante un circuito puente.

3. Fenómenos de Ionización de Gases

Este método utiliza el fenómeno de ionización de los gases para medir el vacío. Existen varios tipos, como los vacuómetros de ionización de cátodo caliente, los vacuómetros de ionización de cátodo frío y los vacuómetros de radiación.

Vacuómetro de ionización de cátodo caliente
El cátodo caliente emite electrones térmicos que ionizan el gas y se miden los iones producidos.

Vacuómetro de ionización de cátodo frío
Este método utiliza una descarga catódica fría para ionizar un gas y medir los iones producidos.

Vacuómetro de radiación
Mide los iones producidos por la radiación.

Medidores Combinados de Vacío/Presión

Dado que existen muchos tipos diferentes de medidores combinados de vacío/presión, es necesario seleccionar el medidor de vacío adecuado para cada fin. El nivel de vacío del espacio a medir puede clasificarse en bajo vacío, medio vacío, alto vacío o ultra alto vacío.

• Bajo vacío: 105 Pa a 102 Pa
• Vacío medio: 102 Pa a 10-1 Pa
• Alto vacío : 10-1Pa a 10-5Pa
• Vacío ultraalto : 10-5Pa a 10-8Pa
• Vacío extremadamente alto : 10-8Pa o menos

Los manómetros de mercurio de tubo en U y los vacuómetros de membrana pueden medir en el rango de bajo vacío. Los vacuómetros McLeod pueden medir desde el alto vacío hasta el bajo vacío.

Los vacuómetros Pirani miden en la gama de vacío bajo a medio, mientras que los vacuómetros de ionización miden en la gama de vacío medio a ultraalto.